中古 ASML PAS 5000 / 55A #293647910 を販売中

ASML PAS 5000/ 55Aは、半導体リソグラフィ用に設計された浸漬光学ウェハステッパーです。167mm露光分野で225nm以下の分解能を持つ半導体デバイスを製造することができます。ASML PAS 5000/55 Aは、ASML IntelliWaferテクノロジーを搭載しており、サイクル時間の短縮、ウェーハの破損の低減、品質と生産性の向上を実現します。PAS 5000/55Aの総画像面積は直径約16。3インチ（414 mm）で、225ナノメートルの解像度でパターンを生成することができます。このシステムは、コンピュータ制御の高度な紫外線照明源を使用しており、さまざまな生産要件に対応するために幅広い露出設定を提供します。このシステムはまた、ユーザーが効率的に非常に効率的な露出を生成することを可能にするいくつかの高度な機能を提供しています。IntellitraceはPAS 5000/55 Aの特徴で、各露出の焦点位置を自動的に調整します。ProFlex機能を使用すると、ウエハ表面にパターンの向きをプログラミングすることができ、より大きなパターンをより小さなパターンに簡単に変換できます。この機能により、ウェーハのアライメントも改善されます。ASML PAS 5000/ 55Aはまた、開発者にユーザーフレンドリーなプログラミング環境を提供しています。このシステムはさまざまなコンピュータ言語で動作するため、ユーザーはそれらのデバイスをパターン化するための独自のレシピをプログラムできます。ユーザーフレンドリーなグラフィカルインターフェイスにより、ユーザーは専門のプログラマーを必要とせずに、すばやく簡単に修正できます。機能とパフォーマンスの向上により、ASML PAS 5000/55 Aは市場で最も強力で信頼性の高いウェーハステッパーの1つとして際立っています。その高解像度、正確なアライメントと再現性により、多種多様な生産要件に適しています。また、プログラム可能な環境により、データセットをより大規模から小規模まで簡単に変換できます。大規模及び小規模事業に適しています。