中古 ASML PAS 5000 / 55 #9300741 を販売中

ASML PAS 5000/55は、ウェーハベースのマイクロエレクトロニクス回路を製造するために使用される高精度のウェーハステッパーです。本機は、幅広い微細加工技術において高精度な基板マスキングが可能です。プラズマ放電による極端なUV （EUV）光を利用してパターン化された光をウェーハ上に露出させる高度なリソグラフィ装置を備えています。PAS 5000/55は、歪みの少ない優れたパターン分解能を提供し、高い収率で非常に小さな構造を生成することができます。リソグラフィーシステムは、ミラー光学を使用して、ステッパーに取り付けられたレチクルにEUV光を投影します。このマシンは、ウェーハ上に正確なパターンを生成するために、最大30kHzの周波数でレチクルをスキャンします。ユニットの光学部品は、最高のパターン分解能を確保するために0。9の非常に高い数値開きを持っています。プロセッサコントロールは、プリアライナーからの位置データ、速度と加速度データ、ショットごとの繰り返し回数、パターンラインの幅、X線設定などのレチクルデータなど、外部からの入力を受け付けます。ステッパーはレーザー力、線量率、および打撃の数を制御するためにソフトウェアとプログラムされます。レーザーは、最大4MHzのパルス反復速度と直径200mmまでのフィールドサイズが可能です。ステッパーは、最大20m/secの高い露出速度も可能で、より高いスループットを可能にします。ASML PAS 5000/55には、オペレータと機械の安全を確保するための多くの安全機能とセンサーがあります。この機械は、さまざまな環境条件で機能することができます。これには、温度、湿度、振動センサーなどの機能が含まれ、潜在的な汚染をオペレータに警告します。PAS 5000/55はチップ生産に最適です。それは信頼性が高く、正確で、複雑な構造を効率的に生成することができます。さらに、費用対効果が高く、歪みを最小限に抑えた優れたパターン分解能を提供し、再作成サイクルが少なく、より高い歩留まりを実現します。