中古 ASML PAS 5000 / 55 #9245465 を販売中

ASML PAS 5000/55は、集積回路の生産を自動化するために設計された最先端のウェーハステッパー装置です。このシステムは、スキャン電子顕微鏡を使用して、フォトレジストフィルムの露出前後にウェーハ上の特徴を検査し、特定します。ステッピングコンポーネントの正確な位置合わせを可能にし、フォトマスクの同時試験を行うことができます。PAS 5000/55はメインフレームコンピュータといくつかのソフトウェア、ハードウェア、光学コンポーネントで構成されています。このユニットにはマスクアライメントテーブルが搭載されており、ウェーハに対してフォトマスクを正確に配置し、正確なフィーチャーイメージングを行うことができます。また、レーザー干渉計を搭載した露光ヘッドを1組搭載し、光学部品を整列させ、露光時に最適なアライメントを確保します。さらに、ASML PAS 5000/55は、プロセスの前後にウェーハを検査および位置決めするためのステージを備えた走査型電子顕微鏡（SEM）ヘッドを備えています。マシンのソフトウェアスイートは、すべてのコンポーネントを統合するように設計されており、メインフレームコンピュータとは独立して動作することができます。PAS 5000/55は、高度なエアベアリングツールを備えており、大気または真空環境で動作できるように設計されています。このアセットは、特殊な光学モデルを使用して、さまざまな光学部品を直接制御し、アライメントとイメージングの精度を確保します。フォトマスクは2つの主要な露出の頭部に接続される特別なアダプターに置かれます。また、装置には2つの振動絶縁部品が組み込まれており、最大限の画像安定性を実現しています。ASML PAS 5000/55は、さまざまなフォトマスクおよびウェハサイズが可能で、最大300mmウェハの生産に対応できます。ツール内に内蔵されたセンサにより、リアルタイムの調整とプロセス監視が可能になり、ウェーハ間のプロセス安定性を正確に向上させ、一貫したパフォーマンスを実現します。PAS 5000/55を活用することで、高精度な集積回路のイメージングを実現します。システムは迅速かつ効率的であり、ソフトウェアおよびハードウェアコンポーネントは、ユニットの信頼性の高い動作を保証し、プロセスが一貫した正確な結果をもたらすように設計されています。