中古 ASML PAS 5000 / 55 #9241173 を販売中

ASML PAS 5000/55は、集積回路の製造用に設計されたウェーハステッパーです。半導体製造プロセスの重要なステップであるフォトリソグラフィに使用されます。この装置は、優れた微小部品収率を生産することができ、標準的な生産サイクル時間はわずか1分以上です。PAS 5000/55は、プログラマブルモーションコントローラを使用して、2つの高解像度プロジェクターを迅速に配置および整列させます。この動作はステッピングと呼ばれ、半導体ウェーハ全体にナノメートルレベルの精度で複数の重複露光パターンを投影します。特許取得済みのPAS E+ライトエンジンアーキテクチャにより、ASML PAS 5000/55は、最大4つの露出パターンをオンボードメモリに保存し、1回の露出サイクルで順番に実行できます。これにより、フォトリソグラフィープロセス全体を完了するために必要な時間が劇的に短縮され、製造業者はスループットを高めることによって生産コストを削減することができます。PAS 5000/55は多層露光も可能で、より高度な集積回路の生産を可能にします。このシステムは、フラッシュメモリ、高速ロジック回路、DRAM、動的ランダムアクセスメモリなどの分野で露光操作が可能です。ASML PAS 5000/55が加工できるウェーハのサイズは、ユニットの構成によって、直径が6インチから12インチまで異なります。また、ステージトラベル分解能0。1ナノメートル、ステップダウン精度0。5％、リピータビリティ0。2ナノメートル、バックラッシュ誤差低減（BER） 0。7ナノメートルも標準装備しています。PAS 5000/55は、動作が安全であること、およびそれが生成する集積回路が最高品質であることを保証するために、さまざまな安全機能を備えています。これらには、自動インターロックシステム、自動フォーカスおよびアライメントシステム、継続的に測定されたマーク位置および検査パラメータ、および最適なイメージング条件を維持するための自動FPRフィードバック制御が含まれます。ASML PAS 5000/55は、半導体フォトリソグラフィ用の最先端の機械であり、優れた微小部品収率と生産時間の短縮を必要とする工場での使用に適しています。信頼性が高くユーザーフレンドリーなツールであり、半導体業界ではますます一般的になっています。