中古 ASML PAS 5000 / 55 #293586475 を販売中

ASML PAS 5000/55は、半導体ウェーハの製造用に設計された最先端のウェーハステッパー装置です。半導体機器分野のリーダーであるASMLが開発したPAS 5000/55は、比類のないスピードと精度を提供します。ASML PAS 5000/55システムに内蔵されているステッパーは、8インチウエハ上のリソグラフィを可能にする自動光学エンジンで構成されています。モーター駆動式モーションコントロールシステムにより、ウェハの精度を最大限に高め、高速で同じサイクリン形状と表面品質を維持します。さらに、サブミクロンの位置決めは、従来のステッパーよりもさらに細かい解像度を提供します。PAS 5000/55は、DRAM、 SRAM、 Flash、 ASICなどのICをパッケージ化するために特別に設計されています。一貫して信頼性の高い生産を保証するために、このユニットには2つの線形軸が装備されており、X/Y作業パラメータを可能にし、幅広い露光方法を備えています。ASML PAS 5000/55は、スキャンの焦点を調整して最適な精度とパフォーマンスを得るダイナミックフォーカス機能も備えています。この機能は、生産プロセスに共通する欠陥の数を減らし、生産時間を短縮するのにも役立ちます。マシンは、露出から画像開発まで、すべての生産ステップの精密制御を可能にする高度なデジタル制御ボードを搭載しています。制御ボードはまた、最大12MUXの迅速な処理速度、およびクロックサイクルあたり2。13ミクロンのスキャン速度を可能にします。最終的に、PAS 5000/55には高度なソフトウェアが搭載されており、エンジニアとオペレータは各生産ステップを極度の精度と容易さで制御および監視することができます。このソフトウェアは、ツールの迅速なトラブルシューティングとメンテナンスを可能にすることで、セットアップとメンテナンスも簡単になります。