中古 ASML PAS 5000 / 50 #9235094 を販売中

ASML PAS 5000/50は、集積回路の製造に使用される専用かつ高度な装置です。これは、製造プロセス中にウェーハの高解像度パターニングを提供するように設計された高度なステッパー装置です。ASML PAS 5000/50は、高いスループットと25mmのフィールド上で0。5ミクロンの印象的な精度を提供します。このシステムは、リソグラフィーステージ、真空露出チャンバー、モーションコントローラを内蔵した高精度のステージで構成されています。モーションコントローラは、パターン配置と解像度の最高精度を確保するために、ステージの動きを調整する責任があります。露出チャンバーは、パターンをウェーハ表面に露出させる真空環境を提供します。リソグラフィーステージには、効率的なスループットを容易にするために、ローディング、アライメント、露出、アンロード機能が自動化されています。PAS 5000/50の主な特徴は、高出力の可視光源と光学系を利用した先進露光技術と液体イオン耐性光学技術です。この機能により、イメージングプロセスの解像度が向上し、チップメーカーは幅広いフォトレジストレシピを使用できるため、より複雑なパターンを作成できます。PAS 5000/50の設計により、ユーザーは既存のシステムやプロセスに簡単に統合できます。ユーザーのプロセス制御システムと密接に統合され、自動校正とウェーハ処理が可能になります。また、温度管理、露出、ポストコーティングプロセスなどのプロセス制御機能も備えています。ASML PAS 5000/50は、その高度な機能と技術のためにチップ生産のための強力な未来を提供しています。この機械は速く、正確なパターン配置を提供し、スルーパットおよび生産時間で有効です。高い精度と柔軟性により、さまざまなチップ製造プロセスに最適です。このツールは、あらゆるチップメーカーの加工ラインに最適な追加です。