中古 ASML PAS 5000 / 50 #9223541 を販売中

ASML PAS 5000/50は、オランダのASML Holding N。V。によって開発された高度なウェーハステッピングマシンです。このマシンは、高度な2ビーム光学機器、新しい振動吸収材、および更新されたレンズシステムを使用して、処理されるウェーハ上の望ましい場所に正確かつ正確に焦点を合わせます。ASML PAS 5000/50は、半導体、MEMS、およびNANDフラッシュデバイス用のウェーハ処理用に設計されています。40/50kVの電子源を搭載し、低エネルギーでの信頼性の高いイメージング用に設計されています。高度な光学系、モーションコントロール、フィードバックシステムを組み合わせて、高いスループットと優れた精度を提供します。PAS 5000/50の2ビーム光学ユニットは、露光角度と焦点高さの広い範囲を提供し、従来のステッパーではピントが合わない大型ダイをイメージすることができます。この改良された光学工具と新しい振動吸収材の組み合わせにより、機械は高精度な方法で幅広い機能を正確にイメージすることができます。新しいレンズ資産と制御システムの組み合わせにより、PAS 5000/50は、自動位置決めや自動メンテナンスなどの多くの追加機能を統合することができます。自動位置決めにより、焦点高さと露出角度を変更することでウェーハステージの自動モーションコントロールを可能にし、ウェーハ上の目的の場所を素早く正確に整列させることができます。自動メンテナンスは、柔軟で信頼性の高いインラインイメージングを提供します。ASML PAS 5000/50は画像解像度を0。25 µmまで達成でき、最大ステージ加速度は4。5 m/s²で高いスループットを実現します。ウェーハステッパーには、自動ウェーハクリーニングツール、自動ウェーハチッピングツール、およびコントラストを改善しノイズを低減するBOZR超解像オプションなどのオプション機能を追加できます。全体として、ASML PAS 5000/50は、半導体デバイスの製造のための高度で信頼性の高いウェーハイメージングソリューションを提供しています。先進的かつ高性能なウェーハステッパーモデルを探している研究者とメーカーの両方に最適です。