中古 ASML PAS 5000 / 50 #293818758 を販売中

ASML PAS 5000/50は、製造プロセス中にウェーハのスタンス、動き、動作を制御するように設計された、自動化された電動ウェーハステッパーです。この装置は、手動ウェーハステッパーよりも高い自動化と精度を提供します。ASML PAS 5000/50は、システム全体のパフォーマンスに貢献するユニークな特性を備えたさまざまなコンポーネントを備えています。ユニットはウェーハステージとキャリブレーションアームで構成され、ステッパーに精度を微調整します。ウェハステージ自体は可動リニアアクチュエータでサポートされており、動作に応じて1、2、3軸で移動できます。精密な動きのために流体の流れを調節し、位置決めコマンドの精度を高めるハイダイナミックコントローラを搭載しています。キャリブレーションアームには、高解像度センサーを搭載し、さまざまな動作中のウェーハの正確な位置を測定するために使用されます。PAS 5000/50には、マシン内に統合されたスマートソフトウェアソリューションもあります。これにより、技術者は、運動速度、運動範囲、プログラムされた補正などの機能などの変数をプログラムして素早く調整することができます。また、カメラ解像度の高いウェハスキャンプラットフォーム、高性能コンピュータ、正確な位置検出のためのレーザーアライメントツールを備えています。これらの機能を組み合わせることで、高い精度と再現性を実現します。アセットコンポーネントに加えて、PAS 5000/50はオペレータの安全性を確保するために設計されたさまざまな安全機能を提供します。モデルには緊急停止ボタンがあり、必要なときに素早く動きを止めることができます。また、先進安全コントローラーによって監視される安全回路を備えており、予期せぬ事態でもステッパーを安全な状態に保つことができます。ASML PAS 5000/50は、高精度で自動化されたウェーハ操作に最適です。最先端のソフトウェアソリューション、安全機能、微調整された動きを組み合わせることで、このステッパーは常に正確なウエハ操作を行うことができます。