中古 ASML PAS 5000 / 50 #293818651 を販売中

ASML PAS 5000/50は、集積回路（IC）コンポーネントの識別、テスト、および分析用に設計された完全自動近接プローブ装置です。この最先端の生産システムは、高解像度の画像を正確にアライメントするための革新的な光学スキャン技術を備えています。高度なプロセス制御と自動テストルーチンにより、最適なパフォーマンスと正確な測定が可能になります。自動化されたステッピングプラットフォームには、テスト対象のICコンポーネントのウェーハを保持するウェーハチャックが含まれています。ウエハーはアクティブブラケットで固定され、精密なスキャン手順で高解像度の画像を取得します。このX-Yムーブメントは、非常に高速でサブナノメートルの精度を達成する電動ステッピングドライブを介して行われます。回路要素の画像をキャプチャするために光学ユニットを使用し、サンプルステージは回路に対して自動移動を行います。ASML PAS 5000/50はまた、プロセスのパフォーマンスを最適化するためのフィードフォワード制御を提供できる統合された自動テスト環境を備えています。この環境は、パラメータ調整、バイアス、温度制御、電流測定など、さまざまな可能性を提供します。これらのプロセスはすべて、製品が信頼性と性能の面で設計目標を満たしていることを保証するために不可欠です。PAS 5000/50は、検査自動化や製品トレーサビリティなどの高度なソフトウェア機能も備えています。これにより、最終製品には粒子検出、形状認識、基板トポグラフィーなどの要求品質が保証されます。さらに、ソフトウェアは、詳細なグラフィックス分析レポートと検査結果を提供します。最後に、PAS 5000/50は大量生産用に設計されています。1時間あたり最大1000個のICをスキャンして測定でき、低サイクルタイムで全体的なスループットを高速化できます。さらに、このマシンは、ツールの最適な動作を確保するための電源管理オプションの広い範囲を提供しています。全体として、ASML PAS 5000/50ウェーハステッパーは、信頼性と正確な結果を提供するために最新の技術で設計された高度な資産です。自動化されたプロセスにより、手動操作の必要性がなくなり、ICコンポーネントの効率的な識別とテストが容易になります。