中古 ASML PAS 5000 / 50 #293749240 を販売中

ASML PAS 5000/50装置は、半導体生産のための高度なリソグラフィーソリューションです。このシステムは比類のない性能と生産性を提供し、あらゆる半導体メーカーにとって重要な機器となっています。ASML PAS 5000/50は、ウェーハステッパーを使用してウェーハを移動させ、フォトマスクと正確に整列させ、パターンをウェーハに転送することができます。ウェーハステッパーは、レーザー位置決め、二軸設計、リニアモータとエンコーダ、モーションコントロールCPUを使用しています。マスクアライナーは、広い作業距離を備えており、6インチ（15センチ）までの任意のサイズマスクを収容することができます。このユニットは、最大4nmの高解像度を提供し、45nmの小さい機能をイメージングすることができます。マスクアライナーは最大150mm×150mmのウェーハサイズで、石英、シリコン、サファイアなど幅広い素材のウェーハに対応できます。PAS 5000/50は、ウェーハに対してマスクを正確に配置するために物理的および視覚的なセンシングを組み合わせた自動アライメントプロセスを提供します。さらに、アライメントとスキャンリングにより、各スキャンの前にマスクとウェーハが常にアライメントされます。これにより、高収率の生産に必要な精度と再現性を実現できます。生産性の面では、PAS 5000/50は1時間あたり最大4,000ウェーハを実行でき、スループットは1時間あたり最大200ウェーハです。このツールは、ウェーハの機械的および熱的損傷から保護するだけでなく、幅広い露光時間と硬化サイクルを備えています。ASML PAS 5000/50のユーザーフレンドリーなインターフェイスにより、資産を簡単に制御および監視できます。このモデルのソフトウェアは、ウェーハスループット、アライメント精度、スループットタイムなどのリアルタイム統計を可能にします。さらに、このソフトウェアは、保存されたデータを複数のシステム間で共有し、効率的なレシピスイッチング機能を提供します。結論として、ASML PAS 5000/50は、高性能で生産性に優れた半導体生産ソリューションです。その幅広い機能により、機器は複雑な作業を確実に処理でき、ユーザーフレンドリーなインターフェイスにより、迅速かつ簡単に操作できます。