中古 ASML PAS 5000 / 50 #293621670 を販売中

ASML PAS 5000/50は、オランダのASML Holdings NV社が製造した高精度ウェハステップトレイです。ステッパーは、シリコンウェーハ、有機基板、光学ガラスシートなどの大小の基板の加工用に設計された全面スキャン装置です。最小フィーチャーサイズ0。15 μ m （1。5nm）の精密マイクロスケール機能の作成が可能です。ASML PAS 5000/50は、サブステージにレーザーと光学系を集中させる堅牢な機械設計に基づいて構築されています。この洗練されたシステムにより、機械はプログラムされた画像でワークをスキャンして露出することができます。ステッパーは、シリコンウェーハから直径15。75インチまでの基板まで、透明な基板に対応できます。ステッパーはスキャンテーブル、照明装置、および光学機械である3つの主要なセクションから成っています。スキャンテーブルは、電磁石の2次元配置と、ウェーハ位置決め用の2つのX-Yテーブルで構成されています。電磁コイルは2つのX-Yテーブルを駆動するために使用され、最大変位は80mm （3。14インチ）です。照明ツールは、80W UVレーザー、オプションの12W UVレーザー、変形ミラー補正器、および高精度レンズを含む光学部品の配列で構成されています。高速レーザーは、最大420Hzの反復速度でスキャンすることができ、ライン露光時間は0。15秒（10ms）です。ステッパーはまた、パターン化された領域全体の収差を検出して修正し、フォーカスバリエーションの影響を最小限に抑えることができます。PAS 5000/50の光学アセットは、短焦点レンズと長焦点レンズの配列と、二重テレセントリック補正器を備えています。レンズは視野全体の収差を低減しながら、クラス最高の画像スポットサイズを0。6 μ mから6 μ mまで実現するように設計されています。ステッパーには、イメージングとアラインメントのためのカメラの範囲が装備されています。PAS 5000/50は、さまざまな先進的な顕微鏡アプリケーション向けの汎用性の高いツールです。IC、ディスプレイ、光学系の製造において、高精度なパターン基板を製造する必要があるユーザーにとって信頼できる選択肢です。ステッパーは信頼性が高く効率的であり、研究開発から大量生産まで幅広い作業に効果的なソリューションを提供します。