中古 ASML PAS 5000 / 50 #293586476 を販売中

ASML PAS 5000/50は、半導体製造で使用されるハイエンドのウェーハステッパー装置です。現在利用可能な最先端のシステムの1つとして、プログラマブル光学や高度なオートフォーカス機能など、幅広い最先端の機能を備えています。ステッピングシステムは、2つの高精度ステージと1つの高出力レンズで構成されています。ステージの高度精度はわずか0。8ミクロンで、最高レベルの精度を必要とするアプリケーションに最適です。ステージの1つは22度まで振ることができ、さらなる操作とより正確な位置決めを可能にします。高精度なステージやレンズに加えて、ASML PAS 5000/50は、多くの高度な機能も備えています。まず、プログラマブルオプティクスユニットを装備し、ユーザーがレーザー露出とフォーカスのためのカスタマイズされたプロファイルを設定することができます。これにより、ウェーハごとに幅広い露出レベルと設定が可能になり、小型ウェーハや複雑なパターニングに最適です。また、高度なオートフォーカス技術を搭載しているため、使いやすく、レンズの位置合わせを誤ることによる欠陥の軽減にも役立ちます。このツールには、生産ニーズに合わせてカスタマイズできるカスタマイズされたオプションも多数用意されています。例えば、アセットはHミラーで構成することができます。また、自動化されたステッチも提供されており、複数のウエハを同時に処理することが容易になります。全体として、PAS 5000/50は最高レベルの精度と自動制御を提供する最先端のウェーハステッピングモデルです。高度な光学機器と高精度ステージを備えたこのシステムは、厳密な焦点公差と正確なパターニング要件を備えたあらゆる微細加工アプリケーションに理想的な選択肢です。