中古 ASML PAS 5000 / 45 #293749241 を販売中

ASML PAS 5000/45は、ウェハレベルのフォトリソグラフィープロセスで使用されるウェハステッパーです。このツールは、チップパターニングの高精度を達成することができ、半導体チップ製造で広く使用されています。ウェーハステッパーは、4インチ（10。16 cm）ウェーハ用に設計されていますが、8インチ（20。32 cm）ウェーハの処理にも使用できます。高解像度4300nmの惑星投影光学機器、長距離目標、大容量ウェハステージ、自動アライメントシステムを備えています。PAS 5000/45はまた、高い測定精度と作業距離の延長を提供します。ASML PAS 5000/45の統合された高性能な照明ユニットは、UVランプ、コンデンサーレンズアセンブリ、イオンビームイルミネータなど、さまざまな照明器具を備えています。照明装置は、光源が適切に整列され、フォトレジストに最適な露光が達成されることを保証します。レンズアセンブリには、ビームのサイズを制御するために使用できる2つの調整可能な虹彩も含まれています。内蔵スプレーヘッドを使用してレジストコーティングを施し、ウェーハステッパーのステージにウェーハを積み込みます。ステージは、ウェハの位置を調整するキャリッジといくつかの支持レールで構成されています。ステージには、その位置を測定するエンコーダと、ウェーハの厚さを検出できるさまざまなセンサーが装備されています。PAS 5000/45の信頼性は、スキャンマップを使用して高精度な結果を提供する自動アライメントツールによってさらに強化されています。このアセットには、基板上のパターンを検査するために使用されるパターンビューアが含まれています。さらに、レーザースポットの形状を測定および記録するためにアライメントレーザーを使用するビームプロファイラがあります。また、ウェーハ表面を高精度に測定するための目的に位置するセンサーを使用した高度な干渉測定モデルを備えています。最後に、ウェーハステッパーにはPCベースのコントローラも装備されており、機器の設定に簡単にアクセスできます。結論として、ASML PAS 5000/45は信頼性の高い精密ウェハステッパーであり、幅広いチップパターニングプロセスに最適です。高度な光学システム、自動化されたアライメント、最先端の測定システムを組み合わせることで、ウェハレベルのフォトリソグラフィに最適なツールとなります。高い精度と安定性、長時間の作業距離、自動化されたアライメントシステムにより、PAS 5000/45はチップ生産に最適です。