中古 ASML PAS 5000 / 40 #293820589 を販売中

ASML PAS 5000/40は、最大40個のウェーハを一度に処理しながら、高精度のアライメントとオーバーレイ精度を提供するように設計された最先端のウェーハステッパーです。PAS4000/40には、ウエハーの背面に2つのLEDが内蔵されており、U字型の自動焦点制御装置が装備されており、パネル全体の照明と手動調整の必要性を排除する自動傾斜制御が保証されています。PAS 5000/40の統合ビジョンシステムは、ウェーハIDを正確に認識し、常にウェーハの全景を表示できます。アライメントに加えて、ウェーハ表面の欠陥を高精度にアライメントする革新的な「ダークフィールドイメージング」機能を備えています。ASML PAS 5000/40には、優れた精度で欠陥を識別できる高度な画像処理機能も搭載されています。この精度と高速スループットにより、PAS 5000/40は短期間でより高い歩留まりを生み出すことができます。また、製造工程の情報を収集し、プロセスのパラメータをフィードバックして、毎回最適なウェーハ品質を確保するSmart Sensorユニットが含まれています。ASML PAS 5000/40は、高性能プロセッサを搭載し、ユーザーフレンドリーなインターフェイスを備えており、簡単なナビゲーションとマシンの設定を包括的に制御できます。この高性能インターフェースにより、迅速かつ簡単なパラメーター変更とセットアップが可能になり、マシンから最も正確で信頼性の高いパフォーマンスを得ることができます。PAS 5000/40には、ウェーハからウェーハまでの精密かつ再現性の高い測定が可能な独自の「ツールアクセスマイクロ振動制御機」も搭載されています。高精度な機能と再現性に加えて、ASML PAS 5000/40は、スループットを向上させ、サイクルタイムを短縮するための高速ウェハマッピングも提供します。高度なウエハハンドリングツールと洗練された超静かなデザインにより、アクセス性と操作性が向上します。信頼性が高く、低コストで高い生産レベルを実現できます。また、最先端のアダプティブコントロールアセットを備えており、スループットを最大限に保つために、マシンがプロセスを適応させることができます。全体として、PAS 5000/40は業界をリードするウェーハステッピングモデルであり、多くの主要半導体メーカーの選択肢です。精度、再現性、柔軟性、信頼性の高いパフォーマンスを提供し、製造プロセスを最大限に活用できます。