中古 ASML PAS 2500 / 45 #9245750 を販売中
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ASML PAS 2500/45は、高精度のアライメントと位置決めを提供するように設計されたステップとリピートウェーハステッパーです。高い精度と再現性を備えたウェーハ上の設計パターンを踏襲し、繰り返すことができます。PAS 2500/45は300mmウェーハ用に設計されており、800mmアライナーを使用して高精度なアライメントと高度なアライメント技術を提供し、1nmのアライメント精度を実現しています。また、迅速なパターン認識と正確な位置決めのための高度なステッピングパターンマッチング機能を備えています。45nmの解像度により、高精度なイメージングが可能で、オーバーレイ性能が高く、プロセス歩留まりが向上します。ASML PAS 2500/45は、高度な画像解析および画像処理ツールを使用して、ウェーハ機能の小さな形状を検出します。また、高速な光検査装置により、リアルタイム障害が発生します。また、プロセス最適化のためのハイエンドイメージライブラリも備えています。さらに、PAS 2500/45には、熱ドリフトを低減し、機械の性能をより信頼性の高いものにするための高度な熱管理システムが装備されています。また、ステッパーの温度制御を2°C以内±行うことができ、最適な動作条件が維持されます。ASML PAS 2500/45には、オープンアーキテクチャのコンピューティングマシンと、操作の簡素化と生産性の最大化を目的とした強力なソフトウェアツールが搭載されています。このユニークなアーキテクチャにより、機械は高度な研究および生産アプリケーションの両方で使用することができます。PAS 2500/45は、ウェーハ加工のニーズに高精度なアライメントと位置付けを取り入れたいお客様に最適です。高精度で高度なアライメント技術を提供するように設計されており、費用対効果は維持されています。
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