中古 ASML PAS 2500 / 40 #9356981 を販売中

ASML PAS 2500/40は、コンピュータ制御の最先端ウェーハステッパー装置です。ASML PAS 2500/40は、直径2〜5インチの広範囲のウェーハサイズで高解像度の画像を作成できます。このシステムは、ユニットのセットアップと再構成を容易にするモジュラー設計を備えているため、ユーザーは最適なパフォーマンスと最大スループットを得ることができます。PAS 2500/40は、特許取得済みの独自のActive Path Compensation （APC）マシンを使用した高精度で熱的に最適化されたリニアドライブステージを備えています。この高度なAPCツールは、レーザー光の強度を調整して、ウェーハの地形の違いを補正します。その結果、ユーザーはウェーハ上の光学部品の非常に正確なアライメントを得ることができます。さらに、PAS 2500/40には完全に閉じたループ制御アセットが組み込まれており、位置と露出パラメータの完全なリアルタイムフィードバックが可能です。ASML PAS 2500/40は、画像安定化、フィールド曲率補正、および複数の露光モードの選択など、高度なイメージング機能も提供します。また、効率的な差動アライメントモデル（DAS）も含まれており、手動で焦点平面調整を行う必要がありません。さらに、ASML PAS 2500/40はオプションの高精度オーバーレイ機能を備えており、ウェハ上の光学パターンの高品質なオーバーレイマッチングを提供します。PAS 2500/40は、メインオプティクスとファスト（減衰器）レンズを組み合わせた先進的な光学設計を採用しています。その結果、解像度が向上し、歪みが低くなります。さらに、このシステムは、さまざまなレイヤーのための設定の広範なライブラリも提供しています。さらに、広範な安全機能セットは、ユーザーとデバイスの優れた保護を提供します。要約すると、PAS 2500/40は高度な設計、高精度なコンポーネント、優れたイメージング機能を備えています。柔軟性、精度、画像精度を提供し、ウェーハステッピングシステムに最適です。