中古 ASML PAS 2500 / 40 #9275403 を販売中

ASML PAS 2500/40は、フォトリソグラフィやその他のパターニングアプリケーション用に設計された高度なウェハステッパーです。ステッパーは、幅0。5ミクロンの様々な特徴を生み出すことができる58インチ解像度のレンズを搭載しています。半導体ウェーハ、フラットパネルディスプレイ、MEMS/NEMSデバイスなどの基板を搭載し、直径16インチまでの表面にフィーチャーを作成できます。ASML PAS 2500/40は、フォトリソグラフィープロセスが正確かつ効率的であることを保証するために、いくつかの先進技術を使用しています。DCDAC （Dynamic Non-Linear Dispersive Aberration Correction）は、投影された画像の歪みを自動的に評価および補正するための独自の光学プロセスです。PAS 2500/40は、パルス幅変調（PWM）照明を組み込んだ最初のステッパーでもあり、より高い精度と光の均一性をもたらします。ステッパーはまた、一貫した露出線量を確保するために、特許取得済みのImprintPower波長制御システムを使用しています。PAS 2500/40は、操作が簡単なコンパクトで効率的な設計を提供します。ステッパーは物理的なフットプリントが小さく、1人のユーザーで簡単に操作できます。ステッパーはまた、レイヤー間の精密なオーバーレイアライメントを容易にし、エッジの配置精度を向上させる自動アライメント機能を備えています。アライメント機能の汎用性は、ユーザーがフォーカス、回転、位置、倍率などのさまざまな調整を実行することもできます。ASML PAS 2500/40は、高度な自己整列マスクステージも備えています。この高度な技術により、最大0。5ミクロンの精密なマスクアライメントが保証され、マスクのずれによる欠陥の可能性も低減されます。最終的に、ASML PAS 2500/40は、高精度フォトリソグラフィーパターンを生成するための高度で信頼性の高いステッパーです。ステッパーは、単一のユーザーによって簡単に操作され、各パターン処理ができるだけ効率的かつ正確に実行されるようにするために、さまざまな高度な技術が付属しています。