中古 ASML PAS 2500 / 40 #9266133 を販売中

ASML PAS 2500/40は、マイクロチップ製造に使用される最先端のウェーハステッパーです。5軸イメージングオプティクス、2つのスキャンステージ、コンピュータ制御ステージを使用して、チップ上の高解像度マイクロストラクチャーを実現する高精度機器です。このシステムは、マスクに光のパターンを投影することによって機能します。その後、マスクはウェーハに対して相対的に移動され、ライトは部品全体をスキャンされ、ウェーハ上にパターンが作成されます。このプロセスは、目的のパターンが完了するまで繰り返されます。ASML PAS 2500/40は、パターンを作成する基板としてブランクウェハを使用するフルフィールドユニットです。高精度で高解像度かつ再現性に優れた超小型構造の製作が可能です。PAS 2500/40は、CAD （Computer Automated Design）ソフトウェアインターフェイスを使用してプログラムファイルを作成、保存、および取得し、非常に効率的にします。また、高解像度イメージングに最適化された光学ツールを搭載しています。デュアルパス光学アセットを使用し、高解像度マルチエミッタ光源と光学部品を内蔵しています。これにより、ステッパーは、40 mmフィールドサイズの400 nmフィーチャーサイズと、8 mmフィールドサイズの180 nmフィーチャーサイズを生成できます。PAS 2500/40には、傾きと回転のステージも付属しており、スキャン領域内の基板の正確な向きを可能にします。スキャン速度とスキャンモードをカスタマイズすることができ、スキャン操作中に移動するオブジェクトを追跡することができます。ASML PAS 2500/40のコントラストと解像度も調整可能で、さまざまなサンプルサイズと技術の最適な生産が可能です。ASML PAS 2500/40は、現在、半導体、マイクロエレクトロニクス、バイオテクノロジー、医療機器製造など、さまざまな業界で使用されている効率的で正確なモデルです。産業用途向けに設計されており、メンテナンスを最小限に抑える必要があり、幅広い用途に最適です。