中古 ASML PAS 2500 / 40 #9245751 を販売中
URL がコピーされました!
タップしてズーム
ASML PAS 2500/40は、ウェーハに回路パターンを転送するために使用されるウェーハステッパーです。このモデルは、極端なウルトラバイオレット（EUV）イメージングオプティクスを使用したユニークで実績のある高度な投影技術に基づいて、優れた機器性能を備えた高度な4メガピクセルのステッパーです。これにより、イメージング機能が向上し、プロセスのスループット時間が短縮されます。これは、均質で安定した露光条件を確保するのに役立ち、最適な画像性能につながる大きなチャンバーサイズを持っています。また、より高いスループットを備えており、各エクスポージャーに最大10個のウェーハを収容できるプロセスチャンバーサイズを備えています。ステッパーは使いやすく、自動化されたアライメント機能を備えています。ASML PAS 2500/40は、高精度のウェーハ位置決めおよび自動焦点測定システムを備えており、プロセス中のウェーハの正確な露出を可能にします。高度なオンボードセンサーとインターフェースにより、空気汚染や破損したウエハーの問題を検出し、迅速なサービスと最適な画質を実現します。ステッパーには、インテリジェントなレチクル処理と高度な自動修理が装備されており、完全なプロセス制御を提供します。PAS 2500/40は、レーザーの損傷を最小限に抑える特別な機械的機能を備えており、一貫性のある画像とプロセス品質を実現しています。ウェーハ回転システムや自動レチクル搬送ロボットなど、信頼性と安全性を確保するためのステッパーです。高度なデータ収集ユニットを備えており、詳細なプロセス監視と運用概要レポートを提供します。直感的なユーザーインターフェイスと使いやすいプロセスコントロールソフトウェアにより、迅速なサービスとエラーのない操作を可能にし、露出ステップ間の時間を短縮します。また、リモートアクセスとモニタリングマシンを備えており、ツール全体、サービスおよびメンテナンス要件、およびサイトとASML間の安全な通信のためのオンラインステッパー状態を監視できます。全体として、PAS 2500/40ウェーハステッパーは、高精度ウェーハイメージングのための信頼性が高く効率的なツールです。その高度なイメージング機能、安全機能、高度なデータ収集資産は、高品質で一貫したパフォーマンスを保証します。
まだレビューはありません