中古 ASML PAS 2500 / 40 #9010549 を販売中

ASML PAS 2500/40は、ボリュームサブミクロンフォトリソグラフィーアプリケーションに高精度で高スループットを提供する2ビームステップおよびスキャン機です。ASML PAS 2500/40機器には、スキャナーとソースという2つの独立したモジュールが含まれています。Scannerはメインコントロールモジュールで、フルフィールドソースマスクスキャナ、入射制御モジュールの角度、CoaXPress通信プロトコル、データパスと移動を同期するコントローラを備えています。一方、Sourceモジュールは、フルフィールド40Wパルスレーザー光源、偏光配信システム、波長モニター、グリッドモニターで構成されており、毎回正確な露出を実現します。これら2つのモジュールにより、PAS 2500/40はウェハスキャンの効率と精度を向上させるのに適しています。さらに、PAS 2500/40には直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）が搭載されており、タッチパネルディスプレイから簡単にユニットを制御できます。さらに、ASML PAS 2500/40は、SDF （Sequential Deflection Field Mode）と呼ばれる高解像度スキャン機を採用しており、広角露光時の配置誤差を低減し、長線特性の歪みを低減することができます。さらに、ASML PAS 2500/40はフルフィールドステッパーであるため、最大4000個のプログラム可能なビームを提供することができ、高解像度回路のイメージングを容易に行うことができます。性能に関しては、PAS 2500/40は高度な解像度、優れた焦点深度、正確なステージモーション制御を提供します。エンコーダトラッキングや光学計測ツールなど、精密な線形測定と角度測定を組み合わせて高精度を実現しています。また、このツールは低い収差と低ノイズを持つように設計されており、優れたイメージングと写真抵抗を保証します。最後に、PAS 2500/40には、自動ウェハ認識、ウェハ識別コード、パラメーターのオンザフライ・プログラミングなど、さまざまなユーザーフレンドリーな機能が搭載されています。その結果、このウェーハステッパーは、ハイエンドのフォトリソグラフィーニーズに最適なソリューションの1つです。さらに、この資産は、LEDインジケータと一貫性のチェックで簡単な監視を提供し、あらゆるアプリケーションにおいて優れた正確なプロセスを保証します。