中古 ASML PAS 2500 / 40 #293629183 を販売中
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ASML PAS 2500/40は、半導体、ディスプレイパネル、および医療用イメージングコンポーネントの製造用に設計されたウェハステッパーです。最先端の光学イメージング、投影、位置決め技術を搭載し、半導体加工アプリケーションに最適な画像均一性と基板モーションコントロールを提供します。装置の中心には、2つの125mmレーザーを組み合わせたデュアルイメージャーセットアップがあり、単一の250mmソースを作成します。この機能は、直径8インチまでの基板の高スループットと非常に高解像度のイメージングを担当しています。さらに、デュアルレーザーシステムは、変動が1nm未満の350nm光源イメージングが可能です。単位は基質の精密な動きのための高度x、 y、 zの動き制御機械が装備されています。精密リニアモータを採用しており、迅速かつ正確なステージ移動を実現しています。高スループット、高分解能、高精度位置制御を組み合わせることで、1時間あたり最大40ウェーハのスループットを実現できます。また、アセットには統合されたウェーハハンドリングモデルが組み込まれています。これにより、従来の基板ローディングプロセスを自動化し、複雑さを軽減し、サイクル時間を短縮します。ローダーとアンローダーは、基板位置を維持し、プロセス時間を最適化するために関節アーム設計を使用します。自動化と精密モーションコントロールの組み合わせにより、装置は均一な画像処理と処理時間を実現します。さらにシステムの機能を高めるために、ASML PAS 2500/40にはさまざまなオプション機能が装備されています。ソフトウェアスイートは、幅広い基板に対応し、カスタムプロセスとレシピを可能にします。さらに、スピンリンスドライヤー、クリーンモジュール、スリットランプシステムなど、さまざまなプロセスハードウェアと互換性があります。PAS 2500/40は、高効率でカスタマイズ可能なウェーハステッパーです。精密モーションコントロール、デュアルレーザーイメージング、自動ウェーハハンドリング、堅牢なソフトウェアスイートを組み合わせて、可能な限り最高のイメージングとプロセス制御を実現します。高いスループット、高度なイメージング技術、さまざまなプロセスハードウェアとの互換性を備えたPAS 2500/40は、あらゆる半導体加工ニーズに最適なソリューションです。
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