中古 ASML PAS 2500 / 30 #9356985 を販売中

ASML PAS 2500/30は、幅広いウェーハ処理アプリケーション向けに設計されたパーソナルサイズの高解像度CDステッパーです。サブミクロメータの機能サイズでの製造アプリケーションに最適なソリューションであり、優れたプロセス制御、高スループット、および超クリーンな操作を提供します。ステッパーは、電子ビームリソグラフィの利点とコンパクトなプラットフォームの柔軟性と互換性を兼ね備えているため、半導体製造に最適です。PAS 2500/30の200mmウェーハプラットフォームは、他の統合されたリソグラフィーシステムを上回る最高解像度のウェーハ処理を提供します。ASML PAS 2500/30は、高度なアルゴリズムを使用した最先端のパラメーター制御を備えており、フィールド全体にわたってサブミクロンオーバーレイを最適化できます。ウェーハステッパーは、ビーム成形ミラーと組み合わせて回折光学素子を採用し、幅広い作業距離で再現可能なオーバーレイを実現しています。PAS 2500/30は、静電気放電条件を低減する設計で、非常にクリーンな環境を提供します。この組み合わせにより、フォトレジストをウェーハに分散させることなく、比類のないプロセス緯度の敏感な材料の処理が可能になります。総合的な統合環境には、正確な2軸プログラマブルアライメントシステム、PC制御温度、およびコンフォーマルコンフォーマルコーティングシステムが含まれます。ASML PAS 2500/30はモジュール性を念頭に置いて設計されており、ユーザーはシステムの構成を拡張または変更して製造ニーズを満たすことができます。また、簡単なセットアップと最適な制御のための直感的なグラフィカルインターフェイスを備えた統合計測および検査ツールの完全なスイートが含まれています。ウェーハステッパーはスケーラブルな冷却ソリューションで設計されており、生産ニーズの増加に応じてさらなる性能向上を実現します。これらのすべての機能により、PAS 2500/30は高度なウェーハ処理アプリケーションに最適です。