中古 ASML PAS 2500 / 30 #9234701 を販売中

ASML PAS 2500/30は、最新の半導体産業の要求に特化して設計された最先端のウェーハステッパーです。このシリーズのステッパーは、マスクレスリソグラフィー、光学パターン認識、パターンオーバーレイの柔軟なリソグラフィーオプションを提供します。PAS 2500/30は、業界をリードするテクノロジーを搭載しており、高い歩留まりと低コストで設計されています。ASML PAS 2500/30は、独自のQuad-VFD HSIS光学と独自のVeeco照明設計により、優れたイメージング性能を実現します。このステッパーは、高出力の赤外線レーザーにより、優れた画像出力と焦点深度を実現し、均一性と解像度を最適化します。また、Quad-VFD HSIS光学は、高効率、高精度の設計最適化を提供し、高度なパターン検索アプリケーションをサポートします。Veeco照明設計により、優れたイメージング効率、パターン干渉の最小化、高速処理を実現します。PAS 2500/30はパターンオーバーレイ機能も備えており、高度なリソグラフィ生産のために複数の層の正確な測定とアライメントを可能にします。このステッパーの高度なハードウェアとソフトウェアは、複雑なリソグラフィーアプリケーションの再現性と精度を向上させます。また、X軸とY軸に沿って最大+/-1um、 Z軸に沿って最大+/-0。5umのアライメント精度を提供します。自動化されたリソグラフィ生産のために、ASML PAS 2500/30はマスクレスリソグラフィおよび光学パターン認識機能を提供します。マスクレスリソグラフィは、マスクやマスターを使用せずに高品質のウェーハパターンや複雑な形状を自動生成することができ、全体的な生産コストを削減します。統合された光学パターン認識機能により、高精度なパターン認識と自動ウェーハステッチングが可能で、迅速な納期を実現します。PAS 2500/30は、精度を必要とする最新のハイテクリソグラフィー用途に最適です。高度なイメージング性能、正確なオーバーレイ機能、最先端のマスクレスリソグラフィおよびOPR機能により、ウェーハの生産性を向上させます。