中古 ASML PAS 2500 / 30 #293817891 を販売中
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ID: 293817891
Stepper
Numerical Aperture (NA): 0.43
Resolution: 800 nm
DCO: 150
Throughput (WPH): 60.
ASML PAS 2500/30は、高度なエンジニアリングと技術能力を備えたウェーハステッパーです。このウェーハステッパーは、半導体業界のリーダーであり、低精度部品の高収率を提供すると同時に、無駄な材料の量を削減します。PAS 2500/30には、最大30個のウェーハを保持できる5軸スキャナが装備されており、6インチから12インチまでの顧客定義チャック径で構成することができます。高精度の位置決めを保証するために、統合されたエアベアリングが使用されます。この設計により、高速加速度と高速スキャンレートを備えた高スループットを実現します。ASML PAS 2500/30の非定型は、その優れたフォーカス機能です。このウェーハステッパーは、波長248nmで最大10nmまでのウェーハ表面の残留フォーカスエラーを除去することができます。また、ステッパーは、最高品質の画像の生産を可能にするためにオートフォーカスすることができます。PAS 2500/30は完全に自動化され、スムーズに動作し、プロセスを継続的に最適化します。また、自動露出制御を備えているため、露出パラメータをさまざまなウェーハタイプに調整でき、ウェーハステッパーのプログラムやセットアップに必要な時間を大幅に短縮できます。さらに、冗長な安全機能と独自のバッファシステムを備えており、ステッパーの生産性を向上させ、運用コストを削減します。ASML PAS 2500/30は信頼性のために構築されており、ダウンタイムを最小限に抑えて長期間作動できます。その高度な設計と優れたエンジニアリングにより、最も効率的な方法で最高品質の部品を製造するための理想的な選択肢となります。比類のない精度と再現性により、お客様は常に最高の部品を生産することができます。PAS 2500/30は、ハイテクエンジニアリングプロジェクトに最適です。
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