中古 ASML PAS 2500 / 10 #9250191 を販売中

ASML PAS 2500/10は、最新の技術を駆使した集積回路を製造するために使用される光学リソグラフィ装置の一種であるウェハステッパーです。それは可能な最高の速度および信頼性の最もよく、最も複雑な回路を作り出すように設計されている完全に現代機械です。機械の中心には投影装置があり、機械のステージに配置されたウェーハにパターンを投影します。このシステムの目的は、リソグラフィープロセスでウェーハの上に構築されている回路の各層のイメージを形成することです。そのために、投影ユニットは2つのレンズ、光源、および回路設計を定義するパターンを含むレチクルのセットを使用します。これらの要素の組み合わせは、従来のステッパーで使用されているものよりも高度であり、回路の画像を形成するときに可能な限り最高の精度を確保するのに役立ちます。PAS 2500/10には、投影ツールの角度を測定する2つの角度センサー、ステージの位置を測定する2つのレーザー干渉計、および2つのテレセントリックレンズを含む、いくつかのコンポーネントを備えたイメージングマシンも含まれています。このイメージング資産は、すべての画像がウェーハ上の正しい場所にあることを確認するのに役立ちます。機械にまた高度の段階の制御モデルがあります。この装置は、プロジェクションシステムに対してウェーハを移動させるために特別なサーボモータを使用します。目的は、画像とウェーハの間の正確な間隔を維持することです。これにより、画像が歪む要因が最小限に抑えられ、回路基板を作成する際に可能な限り最高の精度が得られます。ASML PAS 2500/10には、ウェーハ封じ込めユニットも内蔵しています。この機械は外的な要素によって引き起こされるかもしれないあらゆる汚染か損傷からウェーハを保護する場所にあります。これは機械が働くことができる正確さおよび速度を考えると特に重要である。最後に、PAS 2500/10には、マシンのプログラミングを支援するために使用される高度なソフトウェアが含まれています。このソフトウェアは、可能な限り最高の結果が達成されるように、ユーザーがリソグラフィープロセスのパラメータを制御するのに役立ちます。ASML PAS 2500/10は、現在入手可能な最も先進的なウェーハステッパーの1つであり、非常に高速で非常に複雑で精密な回路基板を製造することができます。高度なプロジェクションツール、イメージング資産、ウェーハ封じ込めモデル、およびソフトウェアを通じて、このレベルの精度と速度を達成することができます。