中古 ASML PAS 2500 / 10 #9241066 を販売中

ASML PAS 2500/10は、半導体製造装置ASML社が設計・製造したウェハステッパーです。比較的先進的な機械であり、高度なイメージング、パターニング、ムーブメント技術を使用して、ウェーハ上のフォトレジストを正確にパターン化します。このマシンには2つの光学配置システムがあり、1つはウェーハの位置を決定し、もう1つはパターン装置の顕微鏡オフセットのためのアライメントフィールドを特定します。5インチの三角ミラーを備えた10ミクロンレーザーで構成された投影ユニットを備えた投影システムを使用してパターニングを実現します。また、ウェーハを動かすことができるマニピュレータを備えており、ウェーハのさまざまな部分をレーザーからの光にさらすことができます。位置決めとアライメントシステムにより、1ミクロン未満の偏差で、フォトレジストの高精度のピンポイント配置が可能です。投影装置は、特殊なレンズを使用して、0。5ミクロンの微細露光分解能を可能にするリソグラフィックレンズを使用しています。このツールはまた、パターンが常に鋭い焦点にあることを確認するためにオートフォーカスを採用しています。PAS 2500/10には、ウェーハの動きを保つサーマルチャックと、パターン化された状態でウェーハを固定するフロストチャックからなるウェーハチャック機構が搭載されています。サーマルチャックは、ASML PAS 2500/10に、さまざまな露出タスクを迅速に切り替える機能も提供します。ウェーハステッパーには、安定した再現可能な自動モーションコントロールを提供するように設計されたウェーハステージも含まれています。PAS 2500/10は、ウェーハの動きに専用の3つ、投影レンズに1つ、レチクルに1つ、ウェーハステージに1つの合計6軸の動きを持っています。また、5点相関マーカーを備えており、フォトマスクを1ミクロン以内にアライメントできます。ASML PAS 2500/10は、プロセスの精度を向上させる自動フォトレジストベーキング用の高度な二軸マニピュレータを備えており、フォトレジストコーティングがウェーハ上に均等に分布することを保証します。また、ウェーハを機械との間で簡単に転送するためのコンベアアセットも備えています。PAS 2500/10は、高精度で正確なウェーハステッパーです。高度なイメージング、パターニング、モーション技術により、半導体製造装置のASMLの専門知識を、中小規模および大規模生産にもたらします。その動きの正確さは堅い許容を保証し、フォトレジストのベーキングモデルは制御され、正確な露出を保証し、費用効果が大きい方法で非常に正確なパターンを作成することを可能にします。