中古 ASML PAS 2500 / 10 #9043929 を販売中

ASML PAS 2500 / 10
ID: 9043929
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 1987
Stepper, 6" 1987 vintage.
ASML PAS 2500/10は、半導体加工に使用される高度なリソグラフィ装置であるウェハステッパーです。このリソグラフィーシステムは、従来のイメージングや印刷方法よりもはるかに小さい、シリコンウェーハに非常に細かい構造を印刷するために使用されます。PAS 2500/10は、光学リソグラフィ技術を使用して、シリコンウェーハ上のラインパターンと回路部品を製造しています。このマシンは、25ナノメートルまでのサイズの機能を印刷することができ、現代の半導体製造で使用される最も複雑な部品のいくつかを生産する能力を与えます。ASML PAS 2500/10は、その優れた結果を生み出すために結合するいくつかの主要コンポーネントを使用しています。その光学イメージングユニットは、レンズ、ミラー、フィルターの大規模なコレクションで構成され、着信光の正確な光路を形成します。レーザーを使用してマスクに画像を作成し、大量のレンズを使用してウェーハに光を集中させます。その後、ウェーハを光学系内に移動させ、望ましい回路部品の画像を生成します。いくつかのユニークな機能により、PAS 2500/10は半導体業界にとって魅力的な選択肢となります。非常に高解像度で、最小フィーチャーサイズ25nm、最小ライン幅0。1 μ mの機能を再現できます。また、高いスループットを備え、1時間あたり最大2500個のウェーハを生産し、高度な自動化を実現し、製造時間とコストを削減します。ASML PAS 2500/10は20年以上使用されています。その性能と信頼性により、半導体産業の基幹産業となり、多くの産業がこの先進的なリソグラフィ機械を利用し続けています。このリソグラフィーツールは、優れた性能、信頼性の高い結果、および所有コストが低いため、業界で支配的な製品であり続けています。
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