中古 ASML NXT-AI #9304318 を販売中

ASML NXT-AIは、半導体ウェーハ表面の高精度パターニングを可能にするウェーハステッパーです。このマシンはステッパーであり、露出装置の場合と同様に、各ウェハを完全にスキャンするのではなく、レジスト材料を堆積させてウェーハ表面をパターン化するためにステップアンドリピートプロセスを使用します。基板搬送システム、レーザー露出装置、露出後ベーク（PEB）装置、検査/洗浄/乾燥ツールの4つの主要コンポーネントで構成されています。基板デリバリーアセットは、ウェーハを回転プラッタに堆積させ、光学スキャナに送信します。走査器はレーザーからのエネルギーを使用してウエハ表面に抵抗材料を露出させることによってパターンを作成します。PEBモデルは、レジストを焼くことによってパターンの形を助けるために使用されます。パターンが作成されると、検査装置を使用してウェーハの欠陥を検査し、出荷前にウェーハを拭き取るための洗浄/乾燥システムを使用します。ASML NXT AIの特徴は、高精度なナノパターニングを可能にするデュアルステージX線投影ユニットです。このマシンは、非常に詳細なパターン化されたウェーハ表面に8ナノメートルの分解能を使用しています。機械はまた、エッジからエッジまでより均一なパターンを生成することにより、パターンの精度を向上させる、軸外ソースが装備されています。さらに、機械にはセルフアライメントツールとさまざまな投与および配置システムが装備されており、プロセスの変動を制限するのに役立ちます。NXT-AIウェーハステッパーは、高速な内部メモリと処理機能を備え、高いスループットと効率的な動作を保証します。機械はVOCなしで、高いパターン忠実度を提供するように設計されています。また、AEC-Q213要件にも準拠しており、処理エラーが発生した場合には、信頼性の高いオンザフライ調整が可能です。さらに、機械には自動化されたメンテナンス機能が装備されており、ダウンタイムの削減と長期的な信頼性の向上に役立ちます。全体として、NXT AIウェーハステッパーは、高精度、高精度、および信頼性を備えた半導体ウェーハ上の高解像度パターンを提供できる先進的なマシンです。半導体メーカーにとって最大の効率と性能を提供するように設計されており、その高度な機能により、複雑で高解像度のナノパターンの表面を作成することができます。