中古 ASML NXT 1950i #9293666 を販売中

ASML NXT 1950iは、ウェーハ基板上のメモリチップの製造用に設計されたウェーハステッパーです。このマシンは、高度なマルチゾーン照明装置を使用して、ウェーハに光源を正確に投影します。これにより、パターニングプロセス内の露出制御を改善できます。独自のステップアンドリピート技術とユニークな照明システムの組み合わせは、特徴解像度、位置精度、およびスループットの境界を押し広げ、市場でNXT 1950iを分離します。機械には小さなフットプリントとモジュラー設計があり、セットアップとメンテナンスが簡単です。多くの競合マシンのオーバーヘッドを必要とせず、コストを削減し、ワークフローを簡素化します。このユニットは、生産性を最大化するために、シミュレーションやグラフィックユーザーインターフェイス（GUI）ツールなどのソフトウェア機能を多数提供しています。また、直感的に自動化されたアライメントマシンを備えているため、手動オペレータの監視が不要です。ASML NXT 1950iには高度な光学ツールがあり、非常に高解像度のパターンと高スループットを生成することができます。その優れた精度は、最新のプロジェクションオプティクスと独自のデュアルイメージアセットによって達成されます。さらに、このマシンには高度なX-Yスキャンシステムが装備されており、正確で反復可能なアライメントの露出を可能にし、優れたフォーカスとパフォーマンスをもたらします。NXT 1950iはまた、生産サイクル全体で最大のスループットと精度を確保するためのオートレベリング技術を備えています。機械内部の自動補正メカニズムと独自のリアルタイムモニタ校正システムにより、プロセスの劣化を軽減できます。これらの技術は、強力な4Gダークフィールドマスクモデルと組み合わされて、機械を非常に信頼性の高いものにします。ASML NXT 1950iは、優れた出力品質と歩留まりで24時間365日稼動するように設計されています。その高度な機能は、優れたプロセス歩留まりとコスト削減を提供します。その結果、メモリ製造、フォトマスク製造、フラットパネルディスプレイ製造、医療機器製造、光学センサーの分野で非常に複雑なプロセス開発に適しています。