中古 ASML MicraScan II+ #128863 を販売中

ASML MicraScan II+は、サイコロや半導体ウェーハの製造用に設計された高速自動ウェーハステッパーです。このデバイスは、前世代のウェーハステッパーと比較して最大5倍の高速スループットを実現するように設計されており、大量生産のニーズに最適です。ハードウェアとソフトウェアのユニークな組み合わせを採用し、精度とパフォーマンスを向上させます。このデバイスは、x-y平面で信頼性の高いプログラマブルな動きを提供するリニアステッパーを備えており、個々のレチクルに対して0.4µmの位置精度を備えています。これは、LED目標、レーザー干渉計、および可変レーザー波長のペアを備えた高度な光学システムと組み合わせて、均一で正確な位置決めを提供します。このシステムには、高解像度のデジタルイメージング検出器と、正確な画像登録と正確な画像分析のためのソフトウェアアルゴリズムが組み込まれています。MicraScan II+にはモジュラー設計があり、異なるタスクに対して簡単に再構成できるコンポーネントがあります。また、ウェーハとレチクルの迅速かつ正確な位置決めのための統合された自動ウェーハハンドラが含まれています。その内部ソフトウェアは、リアルタイムのプロセス制御だけでなく、レチクル露出と照明設定の簡単な調整を可能にします。このシステムは、多くの工業規格に適合するように設計されており、UL、 CSA、およびCEが認定されています。ASML MicraScan II+は、高速、正確、プログラマブルなパフォーマンスにより、大量生産ニーズに最適なソリューションです。モジュール式の設計と統合ソフトウェアにより、さまざまなタスクに簡単にカスタマイズでき、すべての安全要件を確実に満たします。より速く、より正確なウェーハとレチクルの位置決めを可能にすることで、生産スループットと歩留まりの向上を可能にします。