中古 ASML LISAP 3P #9292410 を販売中

ASML LISAP 3Pは、フォトリソグラフィ用途で半導体業界で使用される次世代ウェハステッパーです。このマシンは、効率的で効率的かつ正確なインクリメンタル移動と半導体ウェーハの層のアライメントのための洗練された3プラテン構造を備えています。ウェーハステッパーの主なコンポーネントは、メインフレーム、駆動装置、同期モータ、干渉モータ、光学システム、真空ユニット、およびその他の周辺部品です。メインフレームは、ウェーハステッパーの安定した安定した動きと動作を保証するように設計されています。これは、内部ハウジング、サポートプレート、外壁からなる超軽量で堅牢な構造によって達成されます。ドライブマシンには、ステッパーのスムーズで正確なインクリメンタル動作を実現する組み込みドライブモーターが組み込まれています。モータはプログラマブルモータドライバによって駆動され、優れた精度でモータの速度を正確に制御することができます。光学ツールは、ステッパーの動きの最高の解像度と精度を確保するためにビームシェーピング技術を使用しています。このアセットは、多層光学技術、マイクロリソグラフィー技術、および精密なキャリブレーションの組み合わせで構成されています。ステッパーが作動している間、真空モデルは安全な環境を維持するのに使用され、滑らかで、きれいな労働環境を提供します。ステッパーは高度にカスタマイズ可能にするさまざまな高度な機能を備えています。オペレータのコンソールには、直感的な方法でステッパーのプログラミングと操作を可能にするタッチスクリーンとボタンが装備されています。これは、複数の異なるタイプのフォトリソグラフィープロセスステップを実行するようにプログラムすることができ、プロセス要件に応じて自動的にパラメータを調整します。さらに、パターンジェネレータや光学計測システムなど、他のスキャナやその他の専門機器と統合することができます。LISAP 3Pは、半導体産業の過酷で正確な生産ニーズに対応するために設計された、信頼性の高い堅牢な機械です。その高度な機能は、効率的かつ正確なウェーハ位置決め機能を提供するために組み合わされ、正確で再現性のある生産サイクルを可能にします。