中古 ASML I60 #293815429 を販売中
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ID: 293815429
I-Line steppers
REMA housing
WTS
Reticle table
Projection lens
Main plate
WS Stone
Main machine base
Auxiliary machine frame
Machine cover
Missing parts:
EMA unit
Board
Lamp
Gripper assembly.
ASML I60は、半導体デバイスの製造に使用されるフォトリソグラフィ機器の大手メーカーであるASMLによって製造された最先端のウェーハステッパーです。I60はステッパー技術の重要な進歩を表し、高精度で効率的な高度な半導体デバイスの生産を可能にする最先端の機能を提供します。ASML I60の中心には、半導体ウェーハのパターニングにおいて重要な役割を果たしている先進的な光学機器があります。ステッパーは、シリコンウェーハの表面に高精細なパターンを投影することができる洗練されたレンズシステムを採用しており、ナノスケールの精度で複雑な特徴を作り出すことができます。I60の光学ユニットは、ウェーハ表面全体に優れた画質と均一性を提供するように設計されており、一貫したパターニング結果と半導体製造の高い歩留まりを保証します。高度な光学に加えて、ASML I60はその性能と能力を高める革新的な機能の範囲を備えています。I60の重要な特徴の1つは、高解像度のレチクルステージであり、露光プロセス中のレチクルの正確なアライメントと位置決めを可能にします。この結果、ウェーハへの正確なパターン転送が可能となり、最新の半導体デバイス製造に必要な厳しい公差を達成するために不可欠です。ASML I60には高度な自動化機能も組み込まれており、半導体製造ワークフローへのシームレスな統合が可能です。ステッパーには、自動化された調整とキャリブレーションを可能にするインテリジェントコントロールマシンが装備されており、手動による介入の必要性を減らし、生産性を向上させます。このオートメーション機能により、パターニングプロセスの再現性と信頼性が向上し、プロセスの歩留まりが向上し、製造効率が向上します。さらに、高精度・高解像度I60複雑なパターンを投影することができる高効率の照明ツールを備えています。ステッパーは、高度な光源と光学部品を使用して、視野全体に均一で高輝度の照明を提供し、正確なパターン転送と最終半導体デバイスの変動を低減します。性能面では、ASML I60は極めて小さな機能サイズとタイトなオーバーレイ公差を実現できるため、ロジックチップ、メモリデバイス、イメージセンサーなどの高度な半導体デバイスの製造に適しています。ステッパーは高いスループット機能を備えており、サイクルタイムを最小限に抑えたフルウエハの迅速な露出を可能にし、製造生産性を向上させ、半導体製品の市場投入までの時間を短縮します。全体として、I60はウェーハパターニングの高精度と効率化を目指す半導体メーカーにとって最先端のソリューションです。ASML I60は、高度な光学アセット、オートメーション機能、高性能機能により、革新を推進し、デジタル世界を動かす次世代半導体デバイスの生産を可能にします。
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