中古 ASML C-QUAD #9070539 を販売中

ASML C-QUADは、半導体リソグラフィに使用されるウェハステッパーです。半導体チップを極めて微細な解像度でパターン化できるため、半導体製造業界で使用される重要なツールです。C-QUADは、高度な光学技術、ファームウェア、ソフトウェア、およびカスタマイズ可能なコンポーネントのスイートを備えています。ASML C-QUADは、ステッピングアライメント装置（SAS）を使用して、高い精度でフォトレジストの層を露出することができます。ステッパー・アライメント・システムは、レチクルとウェーハの間のフィデューシャル（fiducials）と呼ばれるパターン・アライメント・サイトを対比させ、露出ごとに正確なアライメントを保証します。さらに、高度な光学設計により、各露出のイメージング品質が高いままです。ウェーハステッパー自体には、いくつかの主要コンポーネントが含まれています。位置決め精度を維持するためにレーザー干渉計ユニットが付属しており、ステッピングハードウェアには動作条件の動作と温度を検出するセンサーが搭載されています。C-QUADには大容量のオートフォーカス機と最適化されたレチクルライブラリもあります。レチクルライブラリは、露出に使用される計画パターンの高解像度情報を格納します。ASML C-QUADは、多くのレチクルを格納して切り替えることができ、レチクルを交換することなく、異なるパターンを露出することができます。最適な性能を確保するため、C-QUADには専用ソフトウェアが含まれています。ステッパー全体で正確な動作を保証するために、多くのプロトコルが使用されています。これらのプロトコルは、データアクセスから、露出前のキャリブレーションとアライメントまでさまざまです。さらに、ソフトウェアには通信プロトコルが含まれており、レチクルライブラリやその他の外部データソースとのデータ同期を保証します。ASML C-QUADの高度な機能により、多くの半導体製造設備に最適です。高品質の半導体チップを非常に微細な解像度で製造するための信頼性の高いソリューションです。幅広いカスタマイズ可能なコンポーネントと高度なソフトウェアとハードウェアにより、C-QUADは優れた精度と性能を提供します。