中古 ASML AT760D #9298747 を販売中

ASML AT760Dウェーハステッパーは、半導体製造に使用される最先端の機械です。半導体ウェーハを限られた空間の中に移動させ、「ステップ」と「スキャン」の段階でUV光源によって発生する光にウェーハを正確に整列させて露光するように設計されています。AT760Dは、さまざまなウェーハ径（150、200、300 mm）に対応でき、ステッパー操作の大部分を有機的かつ自動的に実行できるさまざまな機能を備えています。ステッパーは、深紫外線（DUV）、極端紫外線（EUV）、極端紫外線ナノリソグラフィ（Nano-EUL）など、さまざまなリソグラフィ用途で使用できます。さらに、ASML AT760Dは複数のレチクルを処理できるため、マルチパターニング用途に最適です。AT760Dは、正確なパターン配置を確保するために、独自のクローズドループスキャナ位置制御装置を採用しています。このシステムは、リアルタイムウェーハの動きと位置を正確に測定する超高精度のリニアスケールを利用しています。さらに、パターン登録エラーを最小限に抑え、オーバーラップするため、廃棄物生産を削減します。ASML AT760Dは、高度な重ね合わせステッパーマシンを介してパターン配置を最適化するように設計されています。ウェーハがステージ全体を移動すると、その位置はリアルタイムで追跡され、その動きは正確なパターン配置を確保するために動的に補償されます。ステッパーの動作時間を最小限に抑え、スループットを向上させます。AT760Dは、工具のスループットとパフォーマンスを最大限に引き出すように設計されてい。隣接する複数のウェーハステージを備えた最適な真空供給アセットを使用して、アライメント時間を短縮し、配置精度を向上させます。さらに、ステッパーの信頼性の高いモーションコントロールシステムにより、バッチ・ツー・バッチ精度とウェーハ・ツー・ウェーハの一貫性に優れています。ASML AT760Dはまた、空気研磨剤やサーマルアニーリング機能など、生産要件を満たすためにさまざまなオプションをサポートしています。さらに、ステッパーには高度な真空モデルが装備されており、正確な転送を可能にし、粒子生成を低減します。高度な機能に加えて、AT760Dは防塵構造、改善されたシーリングおよび帯電防止設計のような環境機能を高めました。これらの機能は、ステッパーが効率的かつ確実に動作し、安全規制と基準を満たしていることを保証します。全体として、ASML AT760Dウェーハステッパーは、リソグラフィ用途向けの高度で信頼性の高い機械です。正確なクローズドループスキャン装置、最適化されたフィードシステム、強化されたオプション、環境機能により、最も要求の厳しい半導体生産ニーズを確実に満たします。