中古 ASML AT400S #293638713 を販売中
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ID: 293638713
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2001
i-Line scanner, 12", parts system
Wavelength: 365 nm
(2) XCWC
Racks:
MCWC
LCWC
MDC
AA LMA
Airmount
AA
CT
MO
MI
IPDR
RH
PFU
RS
WS
MO
MI
WH
RS Balance mass
RS Long stoke-Y
WS Short stroke-Z
RS Short stroke-XZ
WS E-side long stroke
WS Balance mass
WS Short stroke horizontal
Bottom module
2001 vintage.
ASML AT400Sウェーハステッパー（ASML Wafer Stepper）は、半導体ウェーハにパターンを転送するために使用されるデバイスです。フォトマスク上の回路を正確にウェーハ上にパターニングすることができる高精度なツールです。ウェーハステッパーAT400Sステージ、光学ヘッド、システムコントローラで構成されています。ステージは、最大0。25ミクロンの精度で、X軸とY軸の両方に沿ってウェーハを移動する機能を備えています。さらに、ステージにはウェーハの温度を調節できる発熱体とサーマルプレートが内蔵されています。これにより、高品質の製品の生産が保証されます。光学ヘッドは、マスクからウェーハにビームを整列させる還元レンズシステムを内蔵しています。Rhタイプのマスクを使用して、ウェーハをエッチングするための光を生成します。ビームは、パターンが歪むことなく正確に転送されるように、ウェーハの表面に正確に整列されています。システムコントローラは機械の中心にあります。機械のさまざまな部分（ステージ、光学ヘッド、ビームの強度と焦点、露光時間を含む）を監視および制御する責任があります。また、各回路に必要なパラメータを格納し、各ウェーハを正確にパターン化することができます。ASML AT400Sウェーハステッパーは、パターンをウェーハに転送する際に最高の精度と精度を提供するように特別に設計されています。エラーのリスクを最小限に抑え、最高水準の製品を保証する信頼性の高い使いやすいツールです。
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