中古 ASML AT400S #293625709 を販売中

ASML AT400Sは、フォトリソグラフィ用の最先端のウェーハステッパーで、集積回路のパターン作成に使用されます。半導体ウェーハ上にサブミクロン構造を作成するための特殊で高精度なツールです。近紫外線、可視光または赤外線、マスクを使用してパターンを表面に転送します。AT400Sは、700mm、 300mmのフィールドサイズと高度なシータ位置決めステージを備えています。この装置に5-6nm線形および12nm回転正確さの決断があります。開口数は0。55で、非常に高精細な公差の高解像度ICにも対応できます。ASML AT400Sは、画像認識、モーションコントロールシステム、自動バッチ処理など、幅広いオートメーション機能を備えています。レシピを保存してリコールする機能もあり、パターンデザイナーはシステムを素早くセットアップして実行することができます。AT400Sは非常にユーザーフレンドリーで、グラフィカルユーザーインターフェイスと直感的なコントロールを備えています。トラッキングとアライメントユニットが内蔵されており、露出サイクルごとにパターン設定とアライメントパラメータを追跡することで、自動的に登録精度を維持します。これにより、繰り返し可能で予測可能な結果が得られます。ASML AT400Sにはウェーハスキャン機が搭載されており、ウェーハ全体の欠陥をスキャンすることができます。このツールは、欠陥セクションを検出して拒否し、歩留まりを改善し、時間を節約する機能を備えています。AT400Sの生産能力は比類のないものであり、資産は1時間あたり最大6万台の速度で動作することができます。これにより、製造メーカーは生産効率を高め、コストを削減し、製品品質を向上させることができます。全体として、ASML AT400Sは、高精度なパターンと非常に厳しい公差を持つ集積回路を作成するように設計された洗練された精密ウェーハステッパーです。このモデルは、オートメーション機能、直感的な制御、および業界で比類のない生産速度で設計されています。