中古 ASML AT 850T #9293665 を販売中

ASML AT 850Tは、半導体集積回路の製造に使用されるウェーハステッパーです。フォトレジスト素材をコーティングしたウェーハに希望のパターンを露出させる装置です。これにより、集積回路を精度と精度で製造することができます。AT 850Tは、投影タイプのイメージング機器を使用して動作する高度なステッパーです。マスターフォトマスクからの露出を開始し、基板上に必要な画像を生成します。これは、基板上に希望のパターンの画像を作成するための光学投影システムを使用しています。ステッパーは0。33マイクロメートルの解像度を持ち、高度で非常に複雑な集積回路の製造に使用できます。このユニットはまた、最大8インチの露出面積を持つ非常に大きなウェーハを製造するように設計されています。ASML AT 850Tには、露出プロセスを簡単にカスタマイズできるさまざまな機能とオプションが付属しています。たとえば、基板バイアス設定オプションを使用すると、電圧設定を調整して、必要なパターンが基板に刻印されていることを確認できます。ステッパーはまた正確な結果を保障するためにマスキングプロセスを望ましいパターンと完全に一致させるために整列機械を含んでいます。ステッパーには、各レイヤーに最適な露出線量をプログラムする機能もあります。ステッパーにはレーザー干渉計ツールも装備されており、元の画像と投影された画像の間の精密な光学アライメントを可能にし、エラーや異常の可能性を低減します。ステッパーには、自動的にステッパーの機能をチェックしてスムーズな操作を保証する自己診断アセットも含まれています。全体的に、AT 850Tは、集積回路の生産に優れた結果を提供する高度なウェーハステッパーです。その幅広い機能とオプションにより、ステッパーは中小企業と大規模な生産の両方に最適です。半導体集積回路の製造のための業界標準であり、業界で大量生産に使用されています。