中古 ASML AT-850D #9269679 を販売中

ASML AT-850Dは、半導体デバイスの製造用に設計されたウェーハステッパーです。この高度なツールは、高解像度のプロセスと精度を達成するために優れた性能を提供します。コンパクトなサイズで、最大5µm分解能で直径8インチまでのウェーハを取り扱うことができます。高精度レンズとレーザーベースのオートフォーカス装置を備えた1台ではなく2台の高度なリソグラフィーシステムを備えています。ASML AT850Dは、高度なパターン配置システムにより、優れたイメージングとパターニングの結果を得ることができます。このユニットは、高度なマスクアライナー、光学アライメント、自動エッジ検出、および優れた画質と精度を提供する高度な照明技術を統合しています。このマシンには、欠陥の迅速かつ正確な検出と自動パターン配置のために設計された高性能CCDカメラも装備されています。さらに、複数のパターン認識シミュレーションを実行できるため、1つのウエハ上で複数の異なるレイヤーを効率的に生産できます。安全性に関しては、AT 850Dは安全性に準拠したオートコリメーターツールと空気圧制御を通じて安全な動作を提供します。また、ステッパーの安全でない動作条件を防ぐ過負荷保護を備えた洗練されたモーター設計を特徴としています。これらの機能とは別に、内部検査ユニット、レンズクリーニングステーション、ウェハローダー/アンローダー、チラーアセット、コンベアモデルなど、幅広いアクセサリーが付属しています。これにより、ウェーハステッパーの効率的かつ安全な動作が保証されます。結論として、ASML AT 850Dは、半導体デバイスの高解像度生産を求める人に最適なウェハステッパーです。高度なリソグラフィとイメージング技術、徹底した安全機能、優れた結果を提供する幅広いアクセサリーを備えています。