中古 ASML AT-850D #293822110 を販売中

ASML AT-850Dは、最新のウェーハ生産要件を満たす高度なウェーハステッパーです。このリソグラフィ装置は、シリコン、ヒ素ガリウム、石英、多結晶ダイヤモンドなど、さまざまなウエハ基板に高精度の光学アライメントとイメージング機能を提供します。ASML AT850Dは、0。25ミクロンのサイズのウエハーを製造することができ、最大6インチのサイズに対応できます。このシステムには、高解像度AMT（アクティブミラー技術）プロファイルモニター、0。55の数値開口を持つ特殊ステッピングレンズ、およびマイクロプロセッサを備えたデジタルメモリコントローラを含む対応するドライブ技術が装備されています。また、0。25〜20ミクロンのビーム範囲内で自動的にフォーカスと露出を最適化するユニークな「スキャンとマッチ」機能を備えています。AT 850Dは、精密なデバイス配置とフォーカス精度を可能にする完全に自動化された3軸光アライメントユニットを備えています。このマシンはまた、シンプルで直感的な操作を可能にする高度なユーザーインターフェースを搭載しています。さらに、AT 850 Dはステッピングチャンバーの高度な温度制御とモニタリングを提供し、拡張走行時の焦点安定性を向上させます。ASML AT 850 Dウェーハステッパーは、半導体デバイス、フォトニクス、データストレージなどの高度なリソグラフィ用途に最適なソリューションです。このツールは、優れた画質、正確で信頼性の高い処理機能、および特定のニーズに合わせてカスタマイズできる高度なオートメーション機能を提供します。AT-850Dを使用すると、所有コストが低く、忠実度の高い結果を得ることができます。