中古 ASML AT-850D #293597577 を販売中

ASML AT-850Dは光学リソグラフィ用の4軸精密レンズアライメント装置です。これは、集積回路（IC）製品を生成するように設計された完全に自動化された深紫外線（DUV） 157nm浸漬リソグラフィーシステムです。このユニットは、最先端の半導体業界のニーズに応え、最高のプロセス制御と所有コストを提供するように設計されています。このステッパーは、優れたスループットとパフォーマンス、生産リトグラファーにとって非常に貴重な機能を備えています。ASML AT850Dには、最適なパフォーマンスを提供する多くの機能があります。大型ワーキングエリアを装備し、ウェーハアライメントと基板シフトが容易になります。高度なパターン認識とリソグラフィ操作を提供する高度なソフトウェアスイートが装備されています。さらに、ステップアンドリピート機能により、迅速なパターン複製が可能になり、リソグラフィ処理が大幅に高速化されます。AT 850Dには、XY CCD計測ツールと結合された精密移動テーブルを備えたユニークな4軸マシンがあります。このXY CCD計測資産は、オーバーレイ測定および欠陥検査に使用されます。高精度のレンズナビゲーションとアライメントにより、ステッパーはウェーハを再配置または再燃させることなく、異なるパターンフィールド間で座標を正確にシフトできます。この機能は、半導体製造プロセスにおいて極めて重要なウェハの均一性を向上させるのに役立ちます。AT-850Dには、統合された真空ロードロックモデルがあり、ウェーハ転送ロボットとステッパー間の自動的で安全なインターフェースを提供し、ASMLリソグラフィーワークフローに完全に統合されています。また、高圧収差補正（HIPAC）装置を搭載しており、光学歪みを低減し、小さな機能でも高精度なパターニングが可能です。ASML AT 850Dは、多目的なソフトウェアプログラムのおかげで、プロセスの適応と制御のための複数のオプションを提供しています。例えば、プロセスエンジニアが最適な設定を決定するために露出をシミュレートできるように、高度なリソグラフィックシミュレーション機能を備えています。また、ステッパーと関連するプロセスツール間でリアルタイムのデータ共有も可能です。全体として、AT 850 Dは信頼性が高く高性能なウェーハステッパーであり、IC製造のための一流のリソグラフィを可能にします。その多くの機能により、光学リソグラフィを迅速、安全、正確に製造および管理できます。これらの理由から、さらに多くの場合、ASML AT 850 Dは半導体業界で広く信頼されているリソグラフィ装置です。