中古 ASML AT-850C #9404356 を販売中

ASML AT-850Cは、半導体デバイスの製造に使用されるステッパーです。集積回路やメモリデバイスなど、さまざまなデバイスを生成できます。ASML AT850Cは、大口径、高解像度、高スループットの高度なステッパーです。Iラインステッパーであり、KrFリソグラフィでも使用できます。AT:850Cは、高精度なレンズ設計と高度な多軸アライメント装置を組み合わせることで、デバイス製造のための高解像度で正確な臨界寸法（CD）アライメントを実現します。このマシンはまた、傾きエラーを最小限に抑えたデバイスのすべてのレイヤーのイメージングを可能にする長い焦点深度（DOF）を備えています。これにより、ASML AT:850Cは高い歩留まりを持つ高性能デバイスの製造に適しています。AT-850Cは、高温真空ステッパーであり、ユーザーは安定した環境で機械を操作することができ、優れたプロセス制御により、ユーザーに一貫したイメージング性能を提供します。また、リソグラフィ性能や露光精度に必要な高均一の光線管理システムを搭載しています。ASML AT 850Cは、データ管理だけでなく、自動化されたアライメントと露出でユーザーを支援する包括的なソフトウェアスイートを備えています。これにより、ユーザーは変化するウェーハ環境に迅速かつ正確に調整し、スループットとデバイスの歩留まりの両方を最適化できます。このマシンはまた、スループットを最大化するマルチモード露出ユニットを備えており、デバイスができるだけ迅速かつ正確に露出されるようにします。AT 850Cは、デバイス製造のための強力なツールです。大口径、高解像度、高スループットにより、高性能デバイスの製造に最適です。その多軸アライメントマシンとソフトウェアスイートは、ユーザーにデバイスの露出を詳細に制御し、高いデバイス収率と正確なデバイスイメージを保証します。