中古 ASML AT-850C #9293663 を販売中

ASML AT-850Cは、193 nmステッピングアプリケーションをサポートするように設計された最先端のウェーハステッパーです。これは、非常に正確で効果的で一貫したリソグラフィ結果を生成するように設計されています。ASML AT850Cは、EUVビジネスアプリケーション、マスク製造業界、リソグラフィ用途など、幅広い用途で使用されるように設計されています。ウェーハステッパーAT:850C最小開口数0。76、最大開口数0。80で設計されており、リソグラフィを実現しています。偏光回折光元素を交互に配置した照明器具により、偏光照明による偏光依存照明を可能にし、安定したパターン忠実性を実現します。ステッパーには、高度で精密な位置決めメカニズムが装備されており、正確なステッパーのアライメントとフォーカス性能を実現するために、1ミクロンの精度でウェハを光学部品と整列させるように設計されています。ASML AT 850Cは、スキャンユニット内のヒステリシスを排除するように設計されたハイブリッド磁気およびリニアダイレクトドライブスキャンシステムによって駆動されます。また、高速スキャン速度と一定の加速と減速をサポートし、サンプル上で常にシャープな画像処理結果を保証します。これは、不要な振動を低減し、安定したイメージング結果を提供するように設計された高性能の共振サブシステムによって駆動されます。このウェーハステッパーは、高精度のデュアルトラックマスクアライナー、優れたイメージング結果を得るための強化された4クォードラントフィールドオーバーラップオプション、マルチトラックオートフォーカス校正、改良されたオプティカルマシン脱翼、自動ステッパー清浄度チェック、照明安定性の向上など、幅広い機能をサポートします。ステッパーには、複数の露出を調整して精度を向上させるように設計されたフェザリングアライメント機能と、ミスアライメントを回避するアルゴリズム対応のセルフレベリング機能も含まれています。最後に、AT850Cはレーザー光線を絶えず監視することによって安全を保障するように設計されている目に安全な閉鎖ループレーザーが装備されています。さらに、ステッパーには、コントラスト検出、追加の創造的な照明パターン、強化された照明対称オプションなどのカスタマイズされたビジョンシステムも含まれています。全体として、ASML AT:850Cは高度で洗練されたウェーハステッパーであり、幅広い用途において一貫した正確で正確なリソグラフィ結果を提供するように設計されています。