中古 ASML AT-850C #9256715 を販売中
URL がコピーされました!
タップしてズーム
ASML AT-850Cは、ASMLによるステッピングベースの高度なリソグラフィ装置です。スキャン露光システム（SES）を搭載しており、高解像度で大きなフィールドを高速かつ正確にスキャンできます。ASML AT850Cは、家電製品のVLSI、半導体、集積回路などの小規模回路の製造に使用されます。ユニットの中心には、精度と柔軟性を提供するように設計されたASML独自のLTS 800スキャン露光機があります。このツールは、イメージング性能の向上、速度の向上、画像フィールドのサイズの改善、および画質の向上を提供します。SESは、最大解像度65nmの12インチのスキャンフィールドと16ビットのダイナミックレンジを備えています。露出制御資産（ECS）は、同じ露出内に複数のリソグラフィー層を組み込むための最高水準の動作基準を満たすように設計されています。AT:850Cは、露出の精度を強化するための高度な適応アライメントモデルを提供しています。この装置は、0。5 μ mのサブピクセル精度を維持することができ、振動、傾き、および不均一な膜厚によって引き起こされる歪みを補償することができます。さらに、AEA （Auto Exposure Analyzer）はシステム内に存在し、フィールドサイズ、露出レベル、ショットサイズ、エッジ位置などの詳細なアライメント情報を提供します。これは、長期的なプロセスの安定性を確保するために、署名波形モニタリングに加えてです。AT850Cはまた、画像処理に干渉する可能性のある塵の粒子からユニットを保護するように設計されたいくつかの環境センサーが装備されています。これらのセンサーには、温度センサー、高電流モニター、湿度モニターが含まれます。これにより、機械が汚れや汚れから適切に密閉され、機械がクリーンな環境で動作することができます。機械はまた信頼性および長寿を保障する高度の冷却用具を含んでいます。これは、露出モデルの性能を高めるアセット内で冷却された液体と空気を循環させ、動作中の放熱を排除することによって実現されます。結論として、AT 850Cはハイエンド集積回路を生成するように設計された高度なウェーハステッパーです。精密な画像処理のためのスキャン露光装置（SES）と露光制御システム（ECS）を備えています。また、高精度で長期的なプロセス安定性を維持するために、アダプティブアライメントユニットとシグネチャ波形モニタが付属しています。最後に、このマシンには、最適で信頼性の高い操作のための防塵ツールと冷却資産が含まれています。
まだレビューはありません