中古 ASML AT-850C #9235474 を販売中
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ASML AT-850Cは半導体産業のために設計されたウェーハステッパーです。このデバイスは、通常、半導体チップを作成するための高精度リソグラフィなどのアプリケーションで使用されます。ASML AT850Cの設計には、望ましいパターンに対応したレンズ構成を使用したインコヒーレント照明装置が採用されています。このシステムは、自動アライメントユニット、高解像度イメージングオプティクス、精密マルチゾーンステージ、専用ウェハホルダーで構成されています。AT:850Cの自動化されたアライメントユニットは、デバイスのパターン化のためのリアルタイムのアライメント検証を可能にします。これは、位置のシフト、回転オフセット、歪み、強度などのさまざまなパラメータを検出することによって行われます。さらに、ASML AT 850 Cは、高精度とスループットを維持しながら、最大8つの独立したパターンの並列処理が可能です。AT-850Cの高解像度イメージング光学系は、望ましいパターンの非常に正確なイメージングを可能にします。レンズ構成は高精度で維持され、条件の変化に合わせて素早く調整できます。この機能により、操縦性とフォトリソグラフィーのマージンが低くなり、生産量が増加します。AT 850 Cのウェハステージは、最大0。1micronのx、 y、 zの解像度を25nmまで提供します。この高精度なステージにより、各ゾーンで小さくても解像度の高い画像領域が可能になります。これにより、ユニット部品の全体的な小型化も可能になります。さらに、ウェーハステージは、ウェーハの正確な動きのために、大きくて平らで滑らかなテーブルを備えています。ASML AT:850Cには、さまざまなウェーハサイズに素早く簡単に交換できるウェーハホルダーも装備されています。このウェーハホルダーは、製造プロセスを通じてウェーハを正確に進めるための安全なタブマシンを提供します。さらに、このデバイスは、傾き補正のための傾きと角度ベースと統合されています。チルトベースは1秒角の精度で動作し、プロセス効率を向上させます。全体として、AT 850Cは精密な光学系とステージング機能を備えた汎用性の高いウェーハステッパーです。このデバイスは、費用対効果の高い半導体チップを製造するための高精度な環境を提供します。ASML AT 850Cには、さまざまなリソグラフィ用途に適したモダンなデザインツールと機能が装備されています。
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