中古 ASML AT-850C #293591901 を販売中

ASML AT-850Cは、大規模なフォトリソグラフィープロセス用に特別に設計された先進的なリソグラフィ装置です。このステッパーは、半導体メーカーがウェーハ上に高精度なパターンを作成するために使用し、集積回路の製造プロセスに使用されます。ASML AT850Cは、0。43ミクロンの登録精度を維持しながら、8ミクロンの分解能でパターンを生成することができます。780mm×680mmという広い視野を持ち、大規模なウエハでも簡単に作業できます。ほこりや汚れのない設計により、高い清浄度の基準を満たし、信頼性の高い性能を提供します。このステッパーは、光学カラムの自動バランシングシステムとして、ベースの安定性を確保するだけでなく、高精度な位置決めのためのズームイメージングユニットとして機能します。また、外部校正の必要性を排除し、校正時間を短縮するために設計された内部校正機を備えています。AT:850Cにはキセノンランプの光源があり、露出プログラムを構成および制御するための多数の機能が装備されています。このツールは、ステッパーのパフォーマンスと効率を最大化するように設計された高度なソフトウェアパッケージのおかげで、高精度な製造に適しています。イメージベースの障害検出とエラー訂正を利用して、高品質のパターンを確保します。このステッパーには、機械の誤動作を防ぐインターロックや安全インターロックシステムなど、さまざまな安全機能が装備されています。これは、1つのボタンを押すだけでアセットを事前にプログラムされた位置に移動させる自動移動機能で構築されています。AT 850 Cは、精度の高い製造工程に必要な高精度機です。市場で最も先進的なステップの1つとして、このモデルは優れた性能と優れた信頼性を提供します。