中古 ASML AT-605 #9379125 を販売中

ASML AT-605は、高度なスキャンスリット投影アライメント装置を使用して、リソグラフィを使用してフィーチャーを定義するときに半導体ウェーハが正確に露出するようにするウェーハステッパーです。このシステムは、モーター式アクチュエータによって保持された5段の可動マスクと、ウエハ表面を照らし、整列させ、露出させる洗練された光学ユニットで構成されています。このマシンは、半導体ウェーハ全体の正確で迅速かつ再現性のある露出を正確な許容範囲内で提供するように設計されています。AT-605は、0。2マイクロメートルのインデックス絞り精度で、クォーツマスク上の精密95mm x 95mmクロムを備えています。投影光学ツールは0。4マイクロメートルのマッピング精度を提供し、保持公差は0。22マイクロメートルです。このアセットは、1時間あたり最大1,300万ウェーハのウェーハスループットを達成することができ、非常に効果的で効率的な生産ツールとなります。ASML AT-605にはイメージキャプチャモデルが組み込まれており、ウェーハ表面の迅速かつ正確なアライメントが可能です。装置は、2台のCCDカメラ、レーザーアライメントビーム、および投影イメージングシステムで構成されています。CCDカメラはウェーハ表面の画像をキャプチャし、レーザーアライメントビームはウェーハの位置の変化を監視するために使用されます。これにより、ウエハが正しい方向に正確に露出されるようになります。投影イメージングユニットは、露出した画像をマスクにマッピングします。機械は直感的でユーザーフレンドリーであるように設計されている機能の範囲が装備されています。これらには、グラフィカルユーザーインターフェイス、自動マスクセンタリング機能、プログラム可能なフォーカスと露出制御が含まれます。このツールは、材料の厚さ、露光時間、露光インデックスなどのデータ入力にも対応しています。AT-605は、自動アセンブリとアライメントで、単一の運用資産の利便性を提供します。このモデルはまた、任意の時点で最大5までを含む幅広いリソグラフィーモデルへのアクセスを提供します。最後に、ASML AT-605は、正方形から丸型、不規則な形状まで、さまざまなウェーハジオメトリを処理するために使用できるため、非常に汎用性が高くなります。