中古 ASML AT 1250D #9241299 を販売中

ASML AT 1250Dウェーハステッパーは、半導体デバイスの製造におけるフォトリソグラフィー処理中にシリコンウェーハ上のフォトレジストを露出するために設計されたシステムです。高精度のレーザー干渉計制御スキャナと包括的なツールと設定を使用して、エンジニアと技術者が高度な半導体デバイスを正確かつ再現的に製造できるようにします。このプラットフォームは、このレベルのパフォーマンスと洗練を実現するために、さまざまなコンポーネント・サブシステムを利用しています。自動化された動作を可能にするために、ウェーハステッパーはX、 Y、 Theta、 Z、 Accel、 Focusなど最大8つのモーター付き軸を使用し、高精度で再現性の高い結果を保証します。ウェーハステッパーの光学サブシステムは、内蔵レンズ（最大8個）と可動ミラーを球状ガントリーに取り付け、レーザダイオードとフォトダイオードを配列しています。これらのコンポーネントとステッパーの干渉計で制御されたスキャナを組み合わせることで、エンジニアは半導体ウェーハ上のフォトレジストを正確かつ一貫してパターン化することができます。自動化されたモーションおよび光学サブシステムに加えて、このプラットフォームには高度なHuman Machine Interface （HMI）ソフトウェアも含まれており、エンジニアや技術者がデバイスと直感的かつ効率的に対話できるオペレータコンソールとして機能します。HMIには、多数のボタン、いくつかのテキストベースのディスプレイ、ショートカットキー、さまざまなレシピや手順の事前プログラムされた設定を備えたコントロールパネルが含まれています。また、ウェーハの精密処理用のロボットアームや、より高度なプロセス作業用のビジョンシステムなど、さまざまな周辺機器との統合も容易になります。最後に、これらのパラメータは、フォトリソグラフィープロセスの性質と複雑さによって大きく異なる可能性があるため、デバイスが内部温度、圧力レベル、流量を監視および調整できるようにするいくつかの環境センサーも含まれています。これらの機能を組み合わせたASML AT-1250Dウェーハステッパーは、集積回路やその他のマイクロ電子部品の製造において卓越した性能を発揮します。