中古 ASML AT 1200B #293602555 を販売中
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ASML AT 1200Bは、半導体製造のリソグラフィに使用される最先端のウェハステッパーです。最新のICにナノスケール構造をパターン化するために不可欠な、高い精度と再現性を提供します。ウェーハステッパーは、いくつかの異なる部品で構成されています。光学モジュールには、レチクル対物レンズを含むいくつかの異なるレンズが含まれています。レチクルはレチクルホルダーで保持され、ウェーハ上の正確なパターンでスキャンされます。ウェーハステージは、イメージングオプティクスの下でウェーハを変換し回転させるために使用されます。ステッパーには可動キセノンランプ付きの照明システムもあり、フォトレジストを露出させるために使用される紫外線エネルギーを正確に調整することができます。パターニングプロセスの自動アライメントと監視のためのカメラシステムも含まれています。ステッパーは、ステッパーのプロセスパラメータを設定および管理するためのユーザーフレンドリーなグラフィカルインターフェイスを含む、コンピュータ化されたコントローラモジュールによって操作されます。これにより、新しいファブリックやプロセス設定に適応する際の高精度、再現性、柔軟性を実現します。ステッパーには、複数の組み込みの安全機能も含まれており、適切に動作し、重要なコンポーネントや露出に対する損傷を防ぎます。その精度と再現性に加えて、ステッパーのモジュール設計は、簡単なインストールとメンテナンスだけでなく、より迅速かつ効果的な修理のための個別の電気および機械部品を可能にします。ステッパーは、高度なイメージングアルゴリズム技術と迅速かつ確実にウェーハをパターン化する能力により、生産設定に最適です。全体として、ASML AT-1200Bは、最高レベルのリソグラフィ性能を達成するために構築された高精度で洗練されたウェーハステッパーです。非常に精密なナノスケールパターンを生成することができ、最新のIC製造プロセスに高速、精度、再現性を提供します。
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