中古 ASML AT 1200 #9360855 を販売中

ASML AT 1200は、半導体集積回路（IC）の製造に使用されるリソグラフィ用光アライメント装置であるウェーハステッパー機です。レンズ、ミラー、その他の光学部品を使用して、パターン化された画像をシリコンウェーハに露出させます。ASML AT-1200は、1回の露光で複数のパターニング層を生成することもでき、製造プロセス全体をスピードアップします。AT 1200は、ウェーハ上にパターン化されたリソグラフィーマスクの正確で再現性の高いアライメントを保証するために、一連の先進的なコンポーネントを採用しています。0。1 μ mの解像度を持つ2つの同期サーボドライブスキャナを使用して、ウェーハとマスクを独立した方向に正確に移動します。内部バランスシステムと3軸加速度計も組み込まれており、マスク位置の不均衡や傾きを検出して調整し、露出を止めることなく素早く補正することができます。AT-1200は、2つの光学レンズとウェーハレンズを使用して、マスクからウェーハに光を集中させます。これらのレンズは、リソグラフィーマスクからの光を高い精度でウェーハに投影することができます。さらに、高度な光測定機が組み込まれており、複数の露出にわたってマスクによって放出されるパワーレベルの違いを調整します。ASML AT 1200ウェーハステッパーは、光、空気、真空システムと統合されており、ツールの最適なアライメントと動作を保証します。光アセットは、エネルギー効率に優れた照明を提供し、各集積回路の層設計に合わせてカスタマイズされたフォトマスクと、最適な露光のために光の入射角を調整するウェハレンズ用のエキサイタを備えています。空気モデルは、ウェーハステッパーの内部環境が潜在的に損傷するほこりや破片粒子から解放されることを保証します。そして真空装置はシステム内の精密なマスクの整列のための安定した、一貫した環境を維持します。全体として、ASML AT-1200ウェーハステッパーは、半導体ICメーカーが最短時間で再現可能な精度と効率を備えた高品質の集積回路を製造するために使用する高度な光アライメントユニットです。自動化されたコンポーネントにより、リソグラフィーマスクの正確で一貫性のあるアライメントが保証され、統合された光、空気、真空システムは最適な動作環境を維持します。