中古 ASML AT 1200 #9293661 を販売中

ASML AT 1200は、集積回路の製造に使用されるウェーハステッパーの一種です。フォトリソグラフィを使用してウェーハ上にパターンを作成し、それを使用して集積回路のさまざまなコンポーネントを形成します。この装置は、基板を保持する固定アームと、ウェーハに必要なパターンを転送するために使用されるフォトマスクまたはレチクルを運ぶ可動アームで構成されています。ASML AT-1200は、一連の光感受性検出器を使用してレチクルの位置を正確に制御するパターンジェネレータを使用しています。システム全体がアームを正確に動かすクローズドループサーボユニットにかかっています。これにより、デバイスはウェーハ上のレチクルを素早くスキャンして画像を正確に転送できます。AT 1200は、画像をウェーハに正確に転送するために、レンズ検査（TTL）装置を内蔵しています。これは、投影ツールの前に配置されているイメージングカメラで構成されています。パターンをウェーハ上にスキャンすると、画像カメラがパターンの精度を検査します。不正確さが見つかった場合は、資産の制御ソフトウェアのインテリジェンスを介して自動的に修正されます。AT-1200は、ロウスキャン、270度スキャン、ベクタースキャンなど、さまざまなスキャン方法を利用しています。回路設計の複雑さに応じて、最高レベルの精度を確保するためにさまざまなスキャン技術が使用されます。ASML AT 1200には、パターンが基板に正確かつ一貫して転送されるように、プログラム可能な露出モニタとデジタルイメージプロセッサも含まれています。他のASMLステッパーと同様に、ASML AT-1200にはさまざまな診断およびメンテナンスツールが含まれており、技術者がマシンの問題をタイムリーに特定して修復するのを支援します。このモデルはまた、手動から完全自動化されたウェーハ処理まで、さまざまなレベルの自動化を提供します。全体として、AT 1200は高度で汎用性の高いウェーハステッパーで、集積回路設計のためのさまざまなスキャンおよびイメージングオプションをメーカーに提供しています。クローズドループサーボ装置、TTLシステム、およびプログラム可能な露出モニターにより、基板へのパターンの正確かつ一貫した転送が保証されます。ユニットはまた、マシンをピーク動作状態に保つためのメンテナンスおよび診断ツールの範囲を提供しています。これらのすべての機能を備えたAT-1200は、集積回路の製造に理想的な機械です。